济南鲁热仪器有限公司

  • 滑杆式PECVD系统

    PECVD:是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反...
    型号: 所在地: 参考价: 面议 更新时间:2022/7/22 14:15:13 对比
  • 单温区PECVD系统

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  • PECVD-12DZTVK 三温区PECVD系统

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  • 双温区PECVD系统

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